真空鍍膜是一種通過(guò)物理方法生產薄膜材料的技術。在真空室中,材料的原子從加熱源中分(fèn)離出(chū)來,撞擊在被鍍物體的表麵上。真空鍍膜機在正常工作情況下,通電時必須先打開水管,工作中要隨時注意水壓。
真空鍍膜電源在離子轟擊蒸發過程中,要特(tè)別注意高(gāo)壓線接頭,不要觸碰,以防觸電。用電子槍(qiāng)鍍膜時,應在鍾罩外圍放一塊鋁板。觀察窗的玻璃好是鉛玻璃,觀察時應佩戴(dài)鉛玻(bō)璃眼鏡,防止X射線對人(rén)體造成傷害。

在(zài)鍍多層介質膜的鍍層室內(nèi),應安裝(zhuāng)通風除塵裝置,及時清除有害粉塵。易燃、有毒物品應妥善保管,防止火災中毒。酸洗夾具應在通風設備中進行,並應戴上橡膠手套。將零件(jiàn)放入酸洗或堿洗槽時,應輕拿輕放,不(bú)得碰(pèng)撞、濺水。通常酸洗槽應加蓋。
真空(kōng)鍍膜有蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離(lí)子鍍三種(zhǒng)形式:當濺射鍍(dù)膜用高能粒子轟擊固體表麵時,可以獲得固體表麵的粒(lì)子。能量(liàng)從表麵逸出並沉積在基板上;離子鍍蒸發物質的分子通(tōng)過電(diàn)子撞擊(jī)被電離,並(bìng)以離子的(de)形式沉積在固體表麵。所有(yǒu)三(sān)種(zhǒng)形式的真空鍍膜技術都(dōu)需要快速(sù)冷卻裝置(zhì)來輔助(zhù)真(zhēn)空鍍膜過程。
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